Stars Innovation und AIXUV besiegeln Beteiligung
Sie sind Vorreiter in der noch jungen EUV-Belichtungstechnologie, die eine neue Ära der Halbleitertechnologie einleiten wird: AIXUV aus Aachen. Stars Innovation freut sich, das innovative Unternehmen unterstützen zu können: Mit 25,1 Prozent ist Stars Innovation ab sofort an der erfolgreichen Ausgründung des Fraunhofer-Instituts für Lasertechnik (ILT) beteiligt.
Zu AIXUV
Mittels der extremen ultravioletten Strahlung (EUV) lassen sich deutlich kleinere Chips produzieren, wie sie alle großen Hersteller schon in Kürze anbieten wollen und müssen. Als erster Anbieter liefert AIXUV kommerzielle EUV-Lampen und -Messtechnik fürs Labor. Die Ausgründung des international anerkannten Fraunhofer-Instituts für Lasertechnik (ILT) wurde mit dem renommierten Wissenschaftspreis des Deutschen Stifterverbands ausgezeichnet.
Seit den Anfängen der Halbleiter-Herstellung werden Computerchips durch Belichtung hergestellt. Bisher werden mittels optischer Lithographie Transistoren auf den Chip aufgebracht, dabei werden die ohnehin schon winzigen Strukturen auf den Siliziumwafern immer kleiner. Alle 18 Monate verdoppelt sich so die Kapazität der Mikrochips, während sich gleichzeitig die Fertigungskosten halbieren.
Doch die klassische optische Lithograhie kann bei diesem Tempo nicht mehr mithalten, auch Ultraviolett-Laser, wie sie derzeit zur Anwendung kommen, erreichen demnächst ihre Grenze von 90 Nanometern. An diesem Punkt braucht es Pioniere wie AIXUV: Sie setzen auf die extrem violette Strahlung: Mit einer Wellenlänge von 13,5 Nanometern schafft sie den außerordentlichen Technologiesprung in der Chip-Produktion.
Das Verfahren
Am Fraunhofer Institut für Lasertechnik (ILT) wurde die neuartige Entladungslampe entwickelt, die EUV für die Halbleiterindustrie einfach, effektiv und preisgünstig nutzbar macht. Sie ist patentiert und als „Aachener Lampe“ bekannt. Als EUV-Lichtquelle wird besonders heißes Plasma genutzt, das durch Hohlkathoden-Gasentladung erzeugt wird. Die eigentliche Schlüsselkomponente der Entwicklung, die Plasmakammer, hat nur die Größe einer Hutschachtel, sie wurde in jahrelanger Forschungsarbeit entwickelt. AIXUV als Spin-off des Fraunhofer ILT bietet als erstes Unternehmen eine Version der Lampe für Labortests an – alle wichtigen Halbleiterhersteller wie IBM, Infineon und AMD setzen bereits auf die EUV-Lithographie.
Branche:
- Halbleiter-Industrie
- Optik / Photonik
- Elektronik
Perspektiven:
Das Wachstumspotenzial von EUV für die Lithographie zur Chipherstellung ist groß: Das Weltmarktvolumen wird allein für Laser auf rund 1 Milliarde Euro geschätzt, gleiches gilt für optische Anwendungen wie neuartige Mikroskope und Spektrometer.